下载基板清洗装置及基板清洗方法的技术资料

文档序号:41851340

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基板清洗装置包含下表面刷、支承部件、第1致动器及载荷检测部。下表面刷对基板的下表面进行清洗。支承部件支承下表面刷。第1致动器通过使支承部件升降而对从下表面刷向基板的载荷进行调整。载荷检测部设置在支承部件与第1致动器之间,检测支承部件与第1致...
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