下载半导体封装的技术资料

文档序号:41851140

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一种半导体封装包括:第一基板,包括硅;第一绝缘层,与第一基板接触,第一绝缘层包括氧化硅,第一绝缘层具有第一浓度的硅;第二绝缘层,与第一绝缘层接触,第二绝缘层包括氧化硅,第二绝缘层具有第二浓度的硅,第二浓度低于第一浓度;以及在第二绝缘层上的结...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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