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用于减少腔室的振动的系统、装置和方法可以包括：获得与被刚性耦合到腔室的传送设备相关联的预定义运动数据；在传送设备移动之前，基于预定义运动数据来确定传送设备的移动；基于移动来确定由移动引起的要被施加到腔室的第一力；并且使腔室的支撑设备在传送设...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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