【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本文中的描述涉及图像检查装置的领域，并且更具体地，涉及通过在真空腔室的支撑设备上应用前馈控制来减少样品传送期间真空腔室的振动。
技术介绍
1、图像检查装置(例如，带电粒子束装置或光束装置)能够通过在由与检查装置相关联的源(例如，带电粒子源或光源)产生的波束(例如，带电粒子束或光束)撞击时检测来自样品的表面的粒子(例如，光子、次级电子、反向散射电子、镜像电子或其他类型的电子)来产生样品(例如，晶片衬底或被简称为“晶片”)的二维(2d)图像。在半导体工业中，在半导体晶片上使用各种图像检查装置用于各种目的，诸如晶片处理(例如，电子束直接写入光刻系统)、工艺监控(例如，临界尺寸扫描电子显微镜(cd-sem))、晶片检查(例如，电子束检查系统)或缺陷分析(例如，缺陷审查sem(或者说dr-sem)和聚焦离子束系统(或者说fib))。
2、检查装置可以包括用于包围支撑待检查样品的样品保持器的真空腔室和用于执行检查的其他部件。机械臂可被用于在真空腔室中的负载锁与样品保持器之间传送样品(例如，晶片)。样品在样品保持器上的定位精度对于避免对样...
【技术保护点】
1.一种装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑设备包括气动避震设备。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备被配置为具有针对所述移动的多于两个的自由度。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备包括机械臂。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备包括多关节机械臂。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述预定义运动数据表示所述传送设备的空间位置与时间点之间的关系。
7.根据权利要求6所述的装置，其中被配置为在所述传送设备移动之前基于所述预定义运动数据来确定所述...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种装置，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑设备包括气动避震设备。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备被配置为具有针对所述移动的多于两个的自由度。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备包括机械臂。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述传送设备包括多关节机械臂。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述预定义运动数据表示所述传送设备的空间位置与时间点之间的关系。
7.根据权利要求6所述的装置，其中被配置为在所述传送设备移动之前基于所述预定义运动数据来确定所述传送设备的所述移动的所述电路装置还被配置为：
8.根据权利要求7所述的装置，其中被配置为基于所述移动来确定由所述移动引起的要被施加到所述腔室的所述第一力的所述电路装置还被配置为：
<...【专利技术属性】
技术研发人员：王少谦，P·P·亨佩尼尤斯，罗映，O·阿尔贾奈德赫，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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