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隧穿式反馈FET制造技术
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文档序号:41846730
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一种反馈场效应晶体管(100),包括源极区(110)、沟道区(120)、漏极区(130),和栅极(140)。沟道区(120)位于源极区(110)和漏极区(130)之间。源极区(110)、沟道区(120),和漏极区(130)包括带隙小于0.9...
该专利属于IMEC非营利协会所有,仅供学习研究参考,未经过IMEC非营利协会授权不得商用。
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