下载天线以及等离子体处理装置的技术资料

文档序号:41808937

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本发明在谋求天线所包括的电容元件的静电电容的增大的情况下,使电流在电容元件所包括的各第二电极中充分且均匀地流动。天线(3)包括天线元件(31)及电容元件(32),电容元件(32)包括第一电极(32A)及第二电极(32B),在第一电极(32A...
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