专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
日新电机株式会社
>
天线以及等离子体处理装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载天线以及等离子体处理装置的技术资料
文档序号:41808937
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明在谋求天线所包括的电容元件的静电电容的增大的情况下,使电流在电容元件所包括的各第二电极中充分且均匀地流动。天线(3)包括天线元件(31)及电容元件(32),电容元件(32)包括第一电极(32A)及第二电极(32B),在第一电极(32A...
该专利属于日新电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日新电机株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。