【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种天线以及等离子体处理装置。
技术介绍
1、专利文献1中公开有一种天线，其用以产生等离子体，且包括至少两个导体部件、及与彼此相邻的导体部件电性串联连接的电容元件。电容元件包括与彼此相邻的导体部件的其中一者电性连接的第一电极、及与彼此相邻的导体部件的另一者电性连接的第二电极。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本专利特开2018-133326号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的问题
2、然而，在专利文献1所公开的天线中，第一电极的延伸部及第二电极的延伸部呈圆筒形状，彼此配置于同轴上。因此，集肤效应导致存在如下可能性：关于第一电极及第二电极，相较于处于外侧的电极，电流不易流至处于内侧的电极，或电流无法流至处于内侧的电极。
3、本公开的一实施例的目的在于：在谋求天线所包括的电容元件的静电电容的增大的情况下，使电流充分且均匀地流至电容元件所包括的各第二电极。
4、解决问题的技术手段
<...【技术保护点】
1.一种天线，沿着轴延伸，通过流通高频电流而释放出用以产生等离子体的电磁波，所述天线的特征在于包括：
2.根据权利要求1所述的天线，其特征在于在规定所述贯穿孔的所述第一圆柱部的内面与所述棒状电极之间的空间流通冷却液。
3.根据权利要求1或2所述的天线，其特征在于所述第一电极包括第二圆柱部，所述第二圆柱部以侧面与所述第一圆柱部连续的方式连接于所述第一圆柱部，
4.根据权利要求3所述的天线，其特征在于包围所述内部空间的所述第二圆柱部的内面相较于所述多个贯穿孔而形成于所述第一电极的与中心轴分离的位置。
5.根据权利要求3或4所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种天线，沿着轴延伸，通过流通高频电流而释放出用以产生等离子体的电磁波，所述天线的特征在于包括：
2.根据权利要求1所述的天线，其特征在于在规定所述贯穿孔的所述第一圆柱部的内面与所述棒状电极之间的空间流通冷却液。
3.根据权利要求1或2所述的天线，其特征在于所述第一电极包括第二圆柱部，所述第二圆柱部以侧面与所述第一圆柱部连续的方式连接于所述第一圆柱部，
4.根据权利要求3所述的天线，其特征在于包围所述内部空间的所述第二圆柱部的内面相较于所述多个贯穿孔而形成于所述第一电极的与中心轴分离的位置。
5.根据权利要求3或4所述的天线，其...
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