下载混合材料反型模式圆柱体全包围栅CMOS场效应晶体管的技术资料

文档序号:4180241

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本发明公开了一种混合材料反型模式圆柱体全包围栅CMOS场效应晶体管,其包括:具有第一沟道的PMOS区域、具有第二沟道的NMOS区域及栅区,其特征在于:所述的第一沟道及第二沟道均为圆柱体,且具有不同的半导体材料,所述的第一沟道为n型的Ge材料...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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