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本申请涉及形成套装坩埚组合件的方法，坩埚模具，以及套装坩埚。在一些实施例中，所述方法涉及具有通道网状结构的多孔坩埚模具，所述通道网状结构具有底部通道、从所述底部通道延伸的外部侧壁通道及从所述底部通道延伸的中心堰通道。可将粉浆添加到所述通道网...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。

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