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半导体装置和包括该半导体装置的电子系统制造方法及图纸
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下载半导体装置和包括该半导体装置的电子系统的技术资料
文档序号:41796237
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公开了一种半导体装置和包括该半导体装置的电子系统。该半导体装置可以包括:栅极堆叠体,包括交替地堆叠在彼此顶部上的绝缘图案和导电图案;存储器沟道结构,穿透栅极堆叠体;选择线结构,在栅极堆叠体上;以及选择沟道结构,穿透选择线结构。存储器沟道结构...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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