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本申请公开了互连结构中的选择性金属帽。各实施例提供一种方法和所得结构，该方法包括：在电介质层中形成开口以暴露金属特征，在金属特征上选择性地沉积金属帽，在金属帽之上沉积阻挡层，以及在阻挡层上沉积导电填充物。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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