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本发明提供一种既避免降低生产效率，又防止因在冷却部的冷却面过度蓄积液态溶剂而导致的不良影响的减压干燥装置。一种减压干燥装置(1)，使涂敷于基板(9)的上表面的涂敷膜干燥，其中，具有：腔室(10)，容纳基板；支撑部(20)，在腔室内支撑基板；...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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