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本技术提供一种接头组件、喷淋装置及炉管清洗机。接头组件包括：固定接头，用于与供液管连接；调节接头，与固定接头连接，调节接头的进液方向与出液方向形成夹角；锁定件，可拆卸地连接在固定接头与调节接头之间；锁定件具有锁定状态和松开状态，在锁定状态，...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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