接头组件、喷淋装置及炉管清洗机制造方法及图纸

本技术提供一种接头组件、喷淋装置及炉管清洗机。接头组件包括：固定接头，用于与供液管连接；调节接头，与固定接头连接，调节接头的进液方向与出液方向形成夹角；锁定件，可拆卸地连接在固定接头与调节接头之间；锁定件具有锁定状态和松开状态，在锁定状态，固定接头与调节接头之间通过锁定件连接固定，以锁定调节接头的出液方向；在松开状态，调节接头相对固定接头可转动，以调节调节接头的出液方向。本技术的接头组件通过设置固定接头、调节接头和锁定件，可以通过锁定件使调节接头之间可以相对转动或相对固定，提高连接的可靠性和密封性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种接头组件、喷淋装置及炉管清洗机。

技术介绍

1、氧化炉是半导体领域超大规模集成电路制造专用设备，适用于扩散、氧化、退火等多种工艺，是半导体芯片生产线关键设备之一。

2、在工艺过程中，氧化炉的炉管内外壁表面会逐渐生成一层结晶。随着使用次数的增加，炉管内壁的结晶最终会在内部应力的作用下脱落并附着在晶圆上，严重影响晶圆的质量。因此，需要定期对炉管内外表面进行清洗，除去表面的结晶层。

3、现有技术中，除去结晶层的主要方式是依靠炉管清洗机，采用一定比例的氢氟酸或硝酸溶液冲洗表面的结晶层。炉管清洗机以喷淋的方式对炉管1的外壁和内壁进行清洗。如图1所示，立式炉管清洗机包括转盘2、外壁喷淋供装置3和内壁喷淋装置4。

4、在清洗时，将炉管1放置于转盘2上，通过电机驱动转盘2转动，从而带动炉管1转动。在炉管1转动的过程中，通过外壁喷淋供装置3和内壁喷淋装置4分别对炉管1的外壁和内壁喷洒清洁液，完成了炉管的外壁清洗。

5、然而，现有技术中的内壁喷淋装置喷液角度都是固定的，无法调节，因此无法本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种接头组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的接头组件，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的接头组件，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的接头组件，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的接头组件，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的接头组件，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的接头组件，其特征在于，

8.根据权利要求2或6所述的接头组件，其特征在于，所述固定接头(10)包括：

9.根据权利要求2或6所述的接头组件，其特征在于，所述调节接头(20)包括：

10...

【技术特征摘要】

1.一种接头组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的接头组件，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的接头组件，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的接头组件，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的接头组件，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的接头组件，其特征在于，

7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：白思航，赵宏宇，李广义，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：