下载一种EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构的技术资料

文档序号:41786107

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本发明涉及芯片封装技术领域,具体为一种EMI屏蔽的晶圆级芯片的封装结构,包括:晶圆底板,晶圆底板内设置有晶圆芯片,晶圆芯片正面设置有锡球,晶圆芯片的背面设置有绝缘膜,绝缘膜的背面贴合有氧化硅层,氧化硅层的背面设置有屏蔽层;加强层包括筋网层和...
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