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本发明涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液（Ｃａｒｂｏｘｙｅｔｈｙｌｓｉｌａｎｅｔｒｉｏｌ，ｓｏｄｉｕｍ？ｓａｌｔ；２５％）或者Ｎ－（三甲...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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