在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法技术

本发明专利技术涉及一种在微悬臂梁的二氧化硅表面一步制造羧酸功能化自组装单层膜的新方法，属于纳米功能薄膜制造领域。本发明专利技术的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液（Ｃａｒｂｏｘｙｅｔｈｙｌｓｉｌａｎｅｔｒｉｏｌ，ｓｏｄｉｕｍ？ｓａｌｔ；２５％）或者Ｎ－（三甲氧基硅丙基）乙二胺三乙酸钠盐水溶液（Ｎ－（Ｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌｙｐｒｏｐｙｌ）ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉａｍｉｎｅ？ｔｒｉａｃｅｔｉｃ？ａｃｉｄ，ｔｒｉｓｏｄｉｕｍ？ｓａｌｔ；４５％）为薄膜制造原料，配制成一定浓度与酸度的水溶液，将经过严格清洗的微悬臂梁没入其中，氮气保护下加热反应１０－１００小时。反应结束后，用大量的去离子水冲洗微悬臂梁，即可制得羧酸功能化的微悬臂梁器件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法，其特征在于该方法的具体步骤为：ａ）以去离子水为溶剂，在反应容器中加入硅烷化试剂，配成质量百分浓度为０．５－３％的反应液，并用不具氧化性的酸调节该反应液的ｐＨ值至酸性；ｂ）将经过清洗的微悬臂梁轻轻放入到反应器中，并使微悬臂梁的二氧化硅表面浸没在步骤ａ）制备的反应液中，氮气保护下，于６０－９０℃下进行反应；ｃ）待步骤ｂ所述的反应结束后，将微悬臂梁从反应液中取出并用去离子水冲洗，即可得到羧酸功能化自组装单层膜修饰的微悬臂梁；其中，所述的硅烷化试剂为三羟基硅基乙酸钠水溶液，钠盐的质量百分浓度为２５％，或者Ｎ－（三甲氧基硅丙基）乙二胺三乙酸钠盐水溶液，三钠盐的质量百分浓度为４５％；所述的不具氧化性的酸为盐酸或者醋酸。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许鹏程，李昕欣，陈滢，于海涛，刘民，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]