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本申请提供一种刻蚀设备，包括：刻蚀腔室；隔离挡板，将所述刻蚀腔室分隔为晶圆容置腔和自清洗腔；其中所述自清洗腔内配置有：气体吹扫平台，位于所述自清洗腔顶部且与自清洗腔侧壁相连；吊顶喷头，设置于所述气体吹扫平台上；侧壁喷头，设置于所述自清洗腔的...
该专利属于中芯北方集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯北方集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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