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本发明公开了一种肖特基二极管的制备方法及系统，涉及风电机组监测技术领域，所述方法包括：确定半导体衬底的待沉积区；在待沉积区进行金属镀膜，得到金属薄膜；采集金属薄膜的表面扫描图像，对表面扫描图像进行特征识别，获取薄膜颗粒均匀度、薄膜结构致密性...
该专利属于南通华隆微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通华隆微电子股份有限公司授权不得商用。

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