温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请实施例提供了一种LDMOS器件及LDMOS器件的制备方法。LDMOS器件包括第一掺杂类型的衬底;位于所述衬底之上的第一掺杂类型的外延层;在所述外延层内形成第一掺杂类型的沟道区;形成在所述沟道区内的变掺杂源极,所述变掺杂源极的掺杂浓度自...该专利属于苏州华太电子技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州华太电子技术股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请实施例提供了一种LDMOS器件及LDMOS器件的制备方法。LDMOS器件包括第一掺杂类型的衬底;位于所述衬底之上的第一掺杂类型的外延层;在所述外延层内形成第一掺杂类型的沟道区;形成在所述沟道区内的变掺杂源极,所述变掺杂源极的掺杂浓度自...