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本申请提供一种蚀刻设备，包括：反应腔和排气装置，所述排气装置与所述反应腔的出气口连通，用于排出所述反应腔内产生的废气，其中，所述排气装置包括：第一管路，所述第一管路的第一端连接所述反应腔的出气口，用于排出所述废气；真空泵，所述真空泵连接在所...
该专利属于中芯北方集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯北方集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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