下载一种增加PMOS有效沟道长度的方法的技术资料

文档序号:4175572

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本发明提供一种增加PMOS有效沟道长度的方法,包括以下步骤:在衬底内制作n阱和p阱;在n阱上制作第一多晶硅栅,在p阱上制作第二多晶硅栅;生长第一氧化层;在n阱区域进行轻掺杂源/漏注入;在n阱和p阱表面生长第二氧化层;在p阱区域进行轻掺杂源/...
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