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本发明公开了一种薄膜式真空规用抑制沉积导流模块及薄膜式真空规，主要通过设置多个导流通道，沉积物或侵蚀物将部分的沉积到导流通道侧壁面，从而减少应变膜片受到的污染。本发明的主要技术方案为：一种薄膜式真空规用抑制沉积导流模块，薄膜式真空规包括应变...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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