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本发明提供卡盘工作台，其降低保持面的径向的中心部与外周部的吸引力的偏差。该卡盘工作台对被加工物进行吸引保持，其中，该卡盘工作台具有：板状的多孔板，其具有对被加工物进行吸引保持的保持面；以及板状的基台，其具有在载置多孔板时与多孔板的位于保持面...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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