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本发明公开了一种离子注入剂量和温度同时检测的检测探头制作方法及检测方法，该制作方法包括以下步骤：S1、制作正面绝缘介质薄膜层和背面绝缘介质薄膜层；S2、制作下电极层；S3、沉积出热释电材料薄膜层；S4、制作出上电极层；S5、形成光刻胶图形层...
该专利属于江苏晋誉达半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晋誉达半导体股份有限公司授权不得商用。

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