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一种等离子体监测系统包括：具有内部空间的腔室，该腔室被配置为在内部空间中使用等离子体在半导体基板上执行半导体工艺，并且该腔室包括光学窗口；在腔室内支撑半导体基板的基板台；在基板台上的光收集装置，该光收集装置包括主体和光收集器，主体具有穿过其...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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