【技术实现步骤摘要】
示例实施方式涉及等离子体监测系统。更具体地，示例实施方式涉及一种等离子体监测系统，其能够监测在其中执行等离子体工艺的腔室中等离子体的状态。
技术介绍
1、在用于在半导体基板上形成图案的等离子体工艺中，可以实时监测腔室内的等离子体状态，以提高等离子体工艺的可靠性。可以借助光发射光谱学通过确定从光波长发射的粒子种类来监测等离子体的能量状态。
技术实现思路
1、根据示例实施方式，一种等离子体监测系统包括：提供等离子体空间的腔室，该腔室被配置为使用等离子体在半导体基板上执行半导体工艺，该腔室包括其中具有光学窗口的侧壁；提供在腔室内的基板台，该基板台被配置为支撑半导体基板；设置在基板台上的光收集装置，该光收集装置包括主体和多个光收集器，该主体具有穿过其形成的多个通孔，该多个光收集器被配置为从等离子体收集分别入射到通孔上的光并将收集的光传送到光学窗口上；以及包括分光计的光分析装置，该分光计被配置为从辐照到光学窗口上的每束光获得光谱，光分析装置被配置为从光谱映射等离子体的状态。
2、根据示例...
【技术保护点】
1.一种等离子体监测系统，包括：
2.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其中每个所述光收集器包括：
3.根据权利要求2所述的等离子体监测系统，其中所述光纤包括多模光纤或平面波导。
4.根据权利要求2所述的等离子体监测系统，其中每个所述通孔的下部与所述反射镜的上部间隔开50μm至2mm的范围内的距离。
5.根据权利要求2所述的等离子体监测系统，其中所述光收集装置进一步包括在所述主体的一侧的对准固定装置，所述对准固定装置被配置为以预定布置方式固定每个所述光收集器的所述准直器。
6.根据权利要求5所述的等离子体...
【技术特征摘要】
1.一种等离子体监测系统，包括：
2.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其中每个所述光收集器包括：
3.根据权利要求2所述的等离子体监测系统，其中所述光纤包括多模光纤或平面波导。
4.根据权利要求2所述的等离子体监测系统，其中每个所述通孔的下部与所述反射镜的上部间隔开50μm至2mm的范围内的距离。
5.根据权利要求2所述的等离子体监测系统，其中所述光收集装置进一步包括在所述主体的一侧的对准固定装置，所述对准固定装置被配置为以预定布置方式固定每个所述光收集器的所述准直器。
6.根据权利要求5所述的等离子体监测系统，其中每个所述光收集器的所述准直器通过所述对准固定装置与相邻准直器间隔开0.1mm至10mm的范围内的距离。
7.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其中每个所述通孔的直径在10μm至1mm的范围内。
8.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其中所述光收集装置的所述主体在俯视图中具有圆形或四边形形状。
9.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其中所述光分析装置进一步包括光学扫描仪，所述光学扫描仪被配置为顺序扫描从所述光收集器反射的所述光。
10.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其中所述光分析装置被配置为从所述光谱提取峰值强度以映射所述等离子体的所述状态...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。