下载布线结构和包括其的半导体器件的技术资料

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公开了一种布线结构和包括其的半导体器件。该布线结构包括:衬底;下绝缘层,在衬底上;下布线结构,在垂直方向上延伸并穿过下绝缘层;间隔物,围绕下布线结构的侧壁;覆盖绝缘层,在下绝缘层上;以及通路结构,在垂直方向上延伸并穿过覆盖绝缘层,其中通路结...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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