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本发明提出了一种D‑BAW空气桥结构及其形成方法。属于体声波滤波器技术领域；所述D‑BAW空气桥结构包括基底、围栏层、下钝化层、下电极、压电层、上电极和上钝化层；所述围栏层、下钝化层、下电极、压电层、上电极和上钝化层依次沉积在所述基底上，其...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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