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本公开涉及由多个母印模制造具有组合图案的纳米压印工作印模。一种用于制造用于在波导工件中形成表面光栅的工作印模的方法包括使用一系列母印模执行一系列步进式光刻过程，以便形成具有第一表面的工作印模，该第一表面具有形成在其中的多个表面光栅。每个步进...
该专利属于谷歌有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过谷歌有限责任公司授权不得商用。

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