【技术实现步骤摘要】
本公开涉及由多个母印模制造具有组合图案的纳米压印工作印模。
技术介绍
1、头戴式设备(hmd)、平视显示器(hud)和其他近眼显示系统通常采用波导，该波导利用表面光栅或全息光栅用于各种光操纵目的，诸如将显示光耦入波导或将显示光从波导朝向用户眼睛的方向耦出。制造具有表面光栅的波导的常见方法依赖于使用具有表面光栅的预期图案的负向图案或相反图案的工作印模。将工作印模压入波导工件的表面上的适当位置，以在波导工件的该表面处形成对应的表面光栅图案。在从波导工件中取出工作印模之后，然后可以将固化过程应用于形成表面光栅的区域，以便固化和硬化表面光栅。
技术实现思路
1、本公开的一个方面涉及一种用于形成工作印模的方法，该方法包括：使用一系列母印模执行一系列步进式光刻过程，以便形成具有第一表面的所述工作印模，所述第一表面具有形成在其中的多个表面光栅，每个步进式光刻过程包括：将所述一系列母印模中的母印模在工作印模工件的材料层的对应区域处压入到所述材料层中，所述母印模具有形成在其上的多个表面光栅图案；将紫外光施加...
【技术保护点】
1.一种用于形成工作印模的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中：
3.根据权利要求2所述的方法，进一步包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述一系列母印模中的每个母印模被配置为形成不同的表面光栅图案。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，每个表面光栅图案在尺寸、类型和定向中的至少一项上相异。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，使用所述工作印模上的至少一个对准标记和所述工作印模工件上的至少一个对准标记将所述工作印模对准到所述对应区域。
7.根据权利要求2所述的方法，其中...
【技术特征摘要】
1.一种用于形成工作印模的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中：
3.根据权利要求2所述的方法，进一步包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述一系列母印模中的每个母印模被配置为形成不同的表面光栅图案。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，每个表面光栅图案在尺寸、类型和定向中的至少一项上相异。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，使用所述工作印模上的至少一个对准标记和所述工作印模工件上的至少一个对准标记将所述工作印模对准到所述对应区域。
7.根据权利要求2所述的方法，其中，对紫外光至少部分透明的所述母印模的材料由聚合物构成。
8.一种波导，所述波导是使用根据权利要求1-7中任一项所述的方法形成的工作印模来制造的。
9.一组增强现实眼镜，所述一组增强现实眼镜具有根据权利要求8所述的波导。
10.一种用于形成工作印模的方法，所述方法包括：
11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述图案化金属层包括与所述第一多个表面光栅图案中的所述表面光栅图案的位置相对应的孔。
1...
【专利技术属性】
技术研发人员：田路，金薇，托马斯·默西埃，
申请(专利权)人：谷歌有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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