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本发明涉及材料研磨技术领域，且公开了一种冷却液自循环的研磨机，包括上研磨装置以及下研磨装置，上研磨装置包括上研磨组件、冷却组件及回收组件。该冷却液自循环的研磨机，通过设置冷却自循环机构，使得在使用研磨机对工件进行研磨时，通过入液管注入冷却液...
该专利属于浙江泓芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江泓芯半导体有限公司授权不得商用。

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