一种冷却液自循环的研磨机制造技术

本发明专利技术涉及材料研磨技术领域，且公开了一种冷却液自循环的研磨机，包括上研磨装置以及下研磨装置，上研磨装置包括上研磨组件、冷却组件及回收组件。该冷却液自循环的研磨机，通过设置冷却自循环机构，使得在使用研磨机对工件进行研磨时，通过入液管注入冷却液，并使冷却液通过中部的出液口排出，对工件和研磨盘进行冷却和润滑，在伯努利原理的作用下，使出液口在冷却液快速流出时，压腔减小，从而通过连通孔将回收槽内气体吸出，进而使回收槽内压腔减小，使得伸至集液槽中的吸液件能在负压的作用下，将集液槽中的冷却液吸至回收槽中，再通过出液口排出，从而在不加设驱动装置的作用下，使冷却液能循环参与冷却和润滑，减少能源消耗。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及材料研磨，具体为一种冷却液自循环的研磨机。

技术介绍

1、研磨机是一种是磨床的一种，其通常通过转动磨具对工件的表面进行研磨，来提高工件平面的精度等，其通常分为用于单面研磨的平面研磨机和双面研磨的双面研磨机等，其中平面研磨机通过将工件固定在夹持装置上，通过将研磨盘压盖在工件表面，并不断转动研磨盘，来对工件进行研磨加工。

2、传统研磨机在对工件进行研磨时，由于研磨盘和工件之间是以摩擦的方式提高工件平面精度，导致会产生大量热量，导致研磨盘和工件的温度快速升高，而在温度过高时，则会导致研磨盘以及工件变形甚至开裂的情况发生，影响二者的工作寿命，且冷却液还能达到润滑的效果，缓解研磨时的冲击，并清楚碎屑，提高研磨效率。

3、在通过冷却液对研磨机完成冷却和润滑后，冷却液仍能进行多次循环利用，并且由于冷却液通常具备一定毒性等原因，导致需要具有资质的回收机构才能进行回收处理，影响了处理成本，导致研磨机通常配备水泵和滤网等组成冷却液循环装置，对冷却液进行循环利用，以提高使用效率，但冷却液循环装置会增加设备采购成本，且其长时间工作也会增加能源本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，所述冷却组件（12）还包括冷却通道（123），所述冷却通道（123）开设于所述上研磨组件（11），且将入液管（121）和出液口（122）连通。

3.根据权利要求2所述的一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，所述冷却通道（123）呈螺旋状，且外端开口与所述入液管（121）连通，内端开口与所述出液口（122）连通。

4.根据权利要求2所述的一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，所述冷却组件（12）还包括第一连通槽（124），所述第一连通槽（124）...

【技术特征摘要】

1.一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，所述冷却组件（12）还包括冷却通道（123），所述冷却通道（123）开设于所述上研磨组件（11），且将入液管（121）和出液口（122）连通。

3.根据权利要求2所述的一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，所述冷却通道（123）呈螺旋状，且外端开口与所述入液管（121）连通，内端开口与所述出液口（122）连通。

4.根据权利要求2所述的一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，所述冷却组件（12）还包括第一连通槽（124），所述第一连通槽（124）开设于所述上研磨组件（11），并位于所述冷却通道（123）和出液口（122）之间，且与出液口（122）的侧壁螺旋连通。

5.根据权利要求2所述的一种冷却液自循环的研磨机，其特征在于，所述冷却组件（12）还包括第二连通槽（125），所述第二连通槽（125）开设于所述上研磨组件（11），并将回收槽（131）和冷却通道（123）连通，且由回收槽（131）向冷却通道（123）单向导通。

6....

【专利技术属性】
技术研发人员：李建斌，郑涛，陈洋洋，许冬华，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：