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本申请公开了一种空腔型体声波谐振器的制备方法，该空腔型体声波谐振器包括第一衬底、谐振器单元和第二衬底。其中该空腔型体声波谐振器的制备方法包括以下步骤：在第一衬底的上表面形成谐振器单元；对第一衬底的下表面开挖空槽，并使得空槽贯穿至第一衬底的上...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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