下载MIM电容模型的提取方法的技术资料

文档序号:4171813

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本发明公开了一种MIM电容模型的提取方法,包括如下步骤:(1)选取至少三个面积相同、通孔密度相同但周长不同的MIM电容,提取边缘电容;(2)选取步骤(1)中的一个电容,再选取与该电容通孔密度和周长相同但面积不同的至少两个MIM电容,结合边缘...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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