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本发明涉及一种氧化硅／氧化铈复合磨粒的制备方法，包括下列步骤：１）在硅溶胶中加入有机添加剂，搅拌溶解，而后加入三价铈盐或四价铈盐制得分散液；２）将分散液置于带有聚四氟内衬的高压釜中，密封后，加热反应；３）反应完毕后离心分离、提纯、烘干，最终...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种氧化硅／氧化铈复合磨粒的制备方法，包括下列步骤：１）在硅溶胶中加入有机添加剂，搅拌溶解，而后加入三价铈盐或四价铈盐制得分散液；２）将分散液置于带有聚四氟内衬的高压釜中，密封后，加热反应；３）反应完毕后离心分离、提纯、烘干，最终...