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本技术公开了一种晶体表面微粒清洁装置，包括设置有安全门的密封罩体，所述密封罩体顶面的进风口位置设置有空气过滤器，所述密封罩体的清洁区内设置有支撑晶体的支撑部，所述密封罩体内的所述清洁区还设置有氮气喷气结构，所述氮气喷气结构设置于所述支撑部的...
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