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本发明公开的一种单工位减薄机，包括减薄机构；减薄机构一侧设置有升降组件，升降组件用于控制减薄机构沿竖直方向升降；减薄机构一侧设置有取片组件，取片组件一侧设置有定心寻边组件，取片组件的一端设置有上料卡塞与下料卡塞；取片组件从上料卡塞内抓取晶圆...
该专利属于苏州辰轩光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州辰轩光电科技有限公司授权不得商用。

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