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一种具有高精度钳位电压二极管的达林顿晶体管制造技术
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下载一种具有高精度钳位电压二极管的达林顿晶体管的技术资料
文档序号:41712891
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本发明公开了一种基于钳位电压二极管的达林顿晶体管,制作N型外延层,N型外延层置于衬底上;制作初始氧化层,初始氧化层置于N型外延层上;形成钳位图形;注入磷离子后退火,形成钳位二极管,并于钳位二极管上形成钳位氧化层;形成基区图形;注入硼离子后退...
该专利属于福建福顺微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建福顺微电子有限公司授权不得商用。
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