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本发明公开了一种组合设备加工多品种晶圆的智能决策端到端调度方法，该方法针对组合设备加工多品种晶圆的情况，通过智能优化算法对晶圆待加工序列做出智能决策，然后通过端到端调度方式得到该加工序列的调度结果，最后对调度结果进行反向传播调整，得到最终调...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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