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一种用于检测存储器装置中的字线短路的方法包括：在针对所述存储器装置中的字线接触通孔(CT)的明电压对比(BVC)图像中确定感兴趣区域(ROI)，所述CT包括至少一条第一字线中的被电子充电的第一CT以及至少一条第二字线中的未被电子充电的第二C...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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