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本发明涉及一种不锈钢衬底的精密抛光方法，包括：按比例配制抛光液；将待抛光的不锈钢衬底５固定于抛光头４底部，加压装置７将抛光头４作用于抛光台６上，并且抛光台６、抛光头４在转动装置带动下旋转，同时抛光液２被输送至抛光垫１表面，使抛光液２、抛光垫...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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