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半导体器件、存储器器件及存储器系统技术方案
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文档序号:41676564
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本申请提供一种半导体器件、存储器器件以及存储器系统。半导体器件包括:衬底,包括第一区域、第二区域以及第三区域;在第一区域、第二区域以及第三区域内分别具有第一沟槽隔离结构、第二沟槽隔离结构以及第三沟槽隔离结构,其中,在垂直于衬底的方向上,第一...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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