温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种校准结构、校准方法及晶圆传输方法。所述校准结构包括：主夹具，包括相对分布的夹具顶面和夹具底面，所述夹具底面具有至少一个定位块，所述定位块用于与半导体机台上的工位进行定位，所述夹具顶面上具有定位销孔，且所述主夹具用于放置于待校准...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。