下载一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法的技术资料

文档序号:41673032

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本发明公开了一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法,涉及溅射镀膜领域,旨在解决喷涂后的靶材密度低,喷涂过程中Ag收集难度大等问题,方案为S1:将Ag纳米粉末、分散剂、粘接剂和溶剂混合均匀,然后进行球磨后得到浆料;S2:将所述浆料进行喷雾造粒,得...
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