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提供了半导体结构及其形成方法。根据本公开实施例的半导体结构包括:半导体主体的沟道区域,升高至隔离部件之上;栅极结构,包裹在沟道区域上方;源极/漏极部件,与沟道区域的侧壁接触;背侧硅化物层,设置在源极/漏极部件的底面上;以及背侧接触部件,延伸...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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提供了半导体结构及其形成方法。根据本公开实施例的半导体结构包括:半导体主体的沟道区域,升高至隔离部件之上;栅极结构,包裹在沟道区域上方;源极/漏极部件,与沟道区域的侧壁接触;背侧硅化物层,设置在源极/漏极部件的底面上;以及背侧接触部件,延伸...