温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种低中毒率的ITO靶材的制备方法。本发明以氧化物粉末为原料，通过球磨得到复合浆料，再依次通过造粒、成型、烧结得到低中毒率的ITO靶材；所述氧化物粉末包括以下重量份数成分：氧化铟粉末85‑95份、氧化锡粉末4...
该专利属于芜湖映日科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖映日科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。