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本发明公开一种低压化学气相渗透/沉积液态前驱体自动补给系统，该系统中设置用于储存前驱体的前驱体储存罐以及用于当前驱体储存罐中前驱体不足时用于补给的前驱体补给罐，在补给过程中，通过第一液位传感器和第二液位传感器对前驱体储存罐以及前驱体补给罐内...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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