下载一种晶圆输送系统及输送方法的技术资料

文档序号:41649010

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本发明提供一种晶圆输送系统及输送方法。晶圆输送系统包括承载台、晶圆输送臂和控制器。控制器控制晶圆输送臂将晶圆移入承载台到位,置于支撑脚上,待支撑脚稳定支撑晶圆后,控制晶圆输送臂向晶圆被移入的方向移动,使限位引脚脱离晶圆边缘后,再控制移出晶圆...
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