温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种基板处理方法及基板处理系统。基板处理方法具备：旋转工序，利用保持旋转部使基板W以水平姿势旋转；研磨工序，使具有分散有磨粒的树脂体的研磨具与旋转的基板W的背面接触，通过化学机械研磨方式研磨基板W的背面；加热工序，在进行研磨时，加...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。